超纯水又称UP水，是指电阻率达到18MΩ*cm（25℃）的水。这种水中除了水分子外，不含其它杂质，如细菌、病毒、含氯二噁英等有机物，也没有人体所需的矿物质等微量元素，即是去除氧和氢以外所有原子的水。可用于超纯材料（半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等）应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术的制备过程。